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北方华创两项产物荣获“第十二届国外半导体立异产物和手艺项目”奖

4月12日,在南京召开的“2018国外半导体市场年会暨第七届集成电路财产立异大会”上,北方华创自主创新产品硅内涵APCVD装备和US700流量计别离荣获“第十二届(2017年度)国外半导体立异产物和手艺项目”奖。

硅内涵APCVD装备应用于功率半导体和集成电路范畴,兼容6吋和8吋硅内涵片的消费,适用于厚度5-130um范畴的N型和P型内涵工艺,具有成膜平均性好、产能高、兼容性好、自动化水平高、占地面积小等长处。

US700气体质量流量控制器是最新研制的数字产物,具有掌握精度高、低事情压差等特性,适用于半导体离子注入工艺及其他相干集成电路制造工艺。

“国外半导体立异产物和手艺项目”奖旨在鼓舞半导体产业界的科技立异活动,评选活动由国外半导体行业协会、国外电子质料行业协会、国外电子专用设备工业协会和国外电子报社配合构造。北方华创荣获这项嘉奖,充实展现企业的技术创新实力和专业范畴作出的凸起成绩。

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